学内共同利用(リユース機器)追加のお知らせ

科学機器リノベーション・工作支援センターでは、大阪大学学内の教育研究設備・ 機器のリユース、およびその共同利用を推進しています。

平成28年4月1日より、工学研究科の1機種が共同利用機器に登録されます。

紫外可視近赤外分光光度計

【装置概要】

装置は,紫外領域から近赤外領域までの波長域 (240nm~2600nm)において,試料の分光透過率,分光反 射率(入射角5度で固定)を測定できます. 光源はWIランプとD2ランプ,検出器は積分球,PMT,PbS からなり,波長域に応じた自動切り換えです. 診断光の単色性は,内蔵モノクロメータのスリット幅に より調整でき,Δλ=0.1~8.0[nm]の範囲で設定可能です. 波長スキャンによる透過率や反射率測定,波長固定での 透過率や反射率の経時変化測定を実施できます.
8インチウエハ用の反射率測定装置を備えていますので ウエハ上の任意の点における反射率測定(入射角5度 で固定)を実施できます. 上記の反射率測定の校正用に広帯域誘電体多層膜ミラーを備えていますので、400~1200nmの波長域については, 絶対反射率を測定できます.
可視偏光フィルタを診断光へ挿入することで,可視域 (400~700nm)については,偏光依存の透過率および反射 率を測定できます. 測定データは,テキストデートとなり,USBメモリで持 ち帰っていただきますが,制御パソコンのOSは WindowsXPですのでウイルス等の持ち込みが無いよう, くれぐれもご注意下さい.

【用途】
・光学フィルタの分光透過率測定
・光学ミラーの分光反射率測定
・液体試料の分光透過率測定
・8インチシリコンウエハ表面各所の分光反射率測定
・微粒子などが分散した液体の分光透過率,分光反射率の測定
・多層膜の分光透過率,分光反射率の測定
・以上について偏光に依存した測定

透過率は,垂直入射が原則ですが,試料の置き方によっ ては,斜入射での測定もできます. 診断ビームサイズは,積分球直前において垂直10mm.水 平5mmの矩形です. 測定室(試料室)は,反射率測定装置の出し入れを可能と するために広くなっています.専用治具の持ち込みや測 定配置の検討次第では,特殊な測定も可能となります.