科学機器リノベーション・工作支援センターでは、大阪大学学内の教育研究設備・機器のリユース、およびその共同利用を推進しています。
平成27年4月20日に、以下の機器が、共同利用機器に登録されました。
『集束イオン・電子デュアルビーム加工観察装置』 基礎工学研究科
【装置概要】
集束イオン・電子ビームを用いて、ナノスケールの微細加工、観察、組成分析、透過電子顕微鏡用試料作製ができます。FIB加工では、局所領域でのプラチナ 等の金属膜や絶縁膜の堆積と局所エッチングができます。また、マイクロマニピュレータによる装置内での電気特性評価やTEM試料のピックアップ・固定がで きます。
【用途】
・微細領域のFIB断面加工・観察
・FIB 加工中の同時高分解能SEM 観察
・EDXによる元素分析可能
・TEM観察試料作製
『波長可変OPOパルスレーザーシステム』工学研究科
【装置概要】
本装置は、紫外領域から近赤外領域までの任意の出力波長を0.001nm程度の波長分解能
本装置は、紫外領域から近赤外領域までの任意の出力波長を0.001nm程度の波長分解能
で選択・使用できるYAGレーザー励起の波長可変パルスレーザーシステムです。
また、可視域では0.075cm-1程度の狭帯域のパルス光を出力可能な波長可変パルスレー
ザーシステムです。
【用途】
・ 高い波長分解能を必要とする原子・分子の吸収分光やレーザー誘起蛍光分光
・ 波長選択性の高い励起・脱励起過程を制御する光化学反応の基礎実験
・ 原子スペクトルのStark効果を利用した電界強度測定
・ 原子・分子スペクトルの超微細構造に関する高精度分光
・ 感度なガス分析
・ レーザー生成プラズマ実験
・ ２光子吸収分光
上記の実験などをウルトラクリーンルーム内で行うことができます。
なお、励起源のパルスYAGレーザーは単体利用も可能で、ω(1064nm)、2ω(532nm)、
3ω(355nm)の中から選択使用できます。seederレーザーにより0.001cm-1程度に
狭帯域化されております。