科学機器リノベーション・工作支援センターでは、大阪大学学内の教育研究設備・
機器のリユース、およびその共同利用を推進しています。

平成28年4月1日より、工学研究科の1機種が共同利用機器に登録されます。

紫外可視近赤外分光光度計

【装置概要】

装置は，紫外領域から近赤外領域までの波長域
(240nm～2600nm)において，試料の分光透過率，分光反
射率(入射角5度で固定)を測定できます．
光源はWIランプとD2ランプ，検出器は積分球，PMT，PbS
からなり，波長域に応じた自動切り換えです．
診断光の単色性は，内蔵モノクロメータのスリット幅に
より調整でき，Δλ＝0.1～8.0[nm]の範囲で設定可能です．
波長スキャンによる透過率や反射率測定，波長固定での
透過率や反射率の経時変化測定を実施できます．
8インチウエハ用の反射率測定装置を備えていますので
ウエハ上の任意の点における反射率測定(入射角5度
で固定)を実施できます．
上記の反射率測定の校正用に広帯域誘電体多層膜ミラーを備えていますので、400～1200nmの波長域については，

絶対反射率を測定できます．
可視偏光フィルタを診断光へ挿入することで，可視域
(400～700nm)については，偏光依存の透過率および反射
率を測定できます．
測定データは，テキストデートとなり，USBメモリで持
ち帰っていただきますが，制御パソコンのOSは
WindowsXPですのでウイルス等の持ち込みが無いよう，
くれぐれもご注意下さい．

【用途】
・光学フィルタの分光透過率測定
・光学ミラーの分光反射率測定
・液体試料の分光透過率測定
・８インチシリコンウエハ表面各所の分光反射率測定
・微粒子などが分散した液体の分光透過率，分光反射率の測定
・多層膜の分光透過率，分光反射率の測定
・以上について偏光に依存した測定

透過率は，垂直入射が原則ですが，試料の置き方によっ
ては，斜入射での測定もできます．
診断ビームサイズは，積分球直前において垂直10mm．水
平5mmの矩形です．
測定室(試料室)は，反射率測定装置の出し入れを可能と
するために広くなっています．専用治具の持ち込みや測
定配置の検討次第では，特殊な測定も可能となります．