科学機器リノベーション・工作支援センターでは、大阪大学学内の教育研究設備・ 機器のリユース、およびその共同利用を推進しています。

平成28年12月1日より、歯学研究科から走査型プローブ顕微鏡が共同利用機器に登録されます。

○走査型プローブ顕微鏡

【機器詳細】

試料表面を微小な探針で走査することによって、三次元形状を高倍率で観察する顕微鏡です。大気中で、固体や膜表面のナノメートルオーダーでの観察と形状測定が可能です。

さらに、プローブ先端で、試料の電気的特性や層分離構造、硬さなどの物性画像も同時に取得できるため、ナノテクの基本ツールとして応用が拡がっています。

大気中で高倍率観察が可能、非導電物もそのまま観察可能、高さ測定が正確に行なえる、試料の局所的物性測定も可能といった特長があります。

・動作モード 1. コンタクトモード 2. ダイナミックモード 3. 位相モード

・分解能 水平 0.2 nm 垂直 0.01 nm

・最大走査範囲（Ｘ･Ｙ）30μm×30μm

・最大測定範囲（Ｚ） 5μm

・試料最大形状 φ24mm×8mm

・試料交換方式 ヘッドスライド機構

・試料固定方式 マグネットによる固定

・ヘッド移動範囲 6mm×6mm（試料径φ18mmのとき）
理学研究科からリユース機器NO.83フーリエ変換赤外分光光度計に赤外顕微鏡が導入されました。

○フーリエ変換赤外分光光度計（赤外顕微鏡付）
【機器詳細】

赤外顕微鏡を搭載したことで、微小領域（μmオーダー）の測定が可能になりました。
イメージング（面分析）で試料の分布状態を可視化できます。
測定例としては下記のものがあります。
・金属基板上に形成した薄膜
・異物分析
・薄片化（10μm程度）した多層フィルム

○With the coupling of an FTIR spectrometer to an infrared microscope, the system is able to examine microscopic areas of materials down to the micrometer level.
FTIR imaging allows the visualization of chemical information on the spatial distribution about the constituents.

The following are examples of application areas for FT-IR microscopy.
・High-sensitivity measurement of a thin film sample on a metal substrate
・identification and imaging of trace contaminants
・Analysis of a thinner multi-layer film having a thickness of about 10 micrometers or less